10.3 空气调节与净化
10.3.1 厂房空气洁净度等级、温度、湿度的设计应满足生产工艺要求。
10.3.2 存在下列情况之一时，空调系统应分开设置：
1 净化空调系统与一般空调系统；
2 空气中含有易燃、易爆物质；
3 容易产生交叉污染，对其他工序的产品质量造成影响；
4 对温、湿度控制要求差别大；
5 工艺设备散热量相差悬殊。
10.3.3 保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定：
1 5级～8级洁净室送风量应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定；
2 生产太阳能级多晶硅的还原炉室，当空调系统为三级过滤时，其送风量应按换气次数大于或等于6次/h计算。
10.3.4 空调系统新风量应取下列两项中的较大值：
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和；
2 保证供给室内每人每小时的新风量，洁净区不应小于40m3，非洁净区不应小于30m3。
10.3.5 洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式。
10.3.6 洁净室与周围区域的压差应符合下列规定：
1 不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa；
2 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa；
3 洁净区与室外的压差不应小于10Pa。
10.3.7 洁净空调送风、回风和排风系统的启闭应连锁，正压洁净室连锁程序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时连锁程序应相反。
10.3.8 单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB(A)，非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB(A)。
10.3.9 还原车间应独立设置直流空调送风系统，不应回风。
10.3.10 腐蚀清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空调送风系统不宜回风。
10.3.11 洁净空气调节系统的新风集中处理时，新风处理机组应符合下列规定：
1 新风应经过粗效过滤器处理；
2 严寒地区新风应先预热；
3 送风机宜采取变频措施。
10.3.12 空气过滤器选用、布置应符合下列规定：
1 空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器；
2 空气过滤器处理风量不应大于额定风量；
3 中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段；
4 亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端。
10.3.13 风机过滤机组的设置应符合下列规定：
1 应根据空气洁净度等级和送风量选用；
2 送风量应能调节；
3 应便于安装、维修及过滤器更换。
10.3.14 净化空调系统的送风机宜采用变频装置。
10.3.2 本条主要是从安全、节能、环保及便于运行管理等方面考虑的。
10.3.3 本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073，洁净室送风量(静态)和气流流型见表1。
表1 洁净室送风量(静态)和气流流型
表1中换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室；室内人员少、热源少时，宜采用下限值。
根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的“三级过滤”，就是将粗、中、高效过滤段全部设在净化空调机组内，用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间，不再设高效过滤器送风口。这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求，减少投资，运行管理方便。这里规定还原炉室的送风换气次数，主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次/h的换气次数。
10.3.4 本条是强制性条文。关于洁净室新鲜空气量的问题，现行国家标准《工业企业设计卫生标准》GBZ 1和《采暖通风与空气调节设计规范》GB 50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定，“工业建筑应保证每人不小于30m3/h的新风量”。现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073规定“保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3”，因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准，以保障人身安全。
10.3.5 “集中送风”是指净化空调机组设在空调机房，空气经过过滤、加热、制冷、加湿等集中处理之后，由风管送入洁净室。“风机过滤机组”是指由风机和高效过滤单元组成的机组。多晶硅厂房净化空调系统，一般洁净等级在6级以下时，采用集中送风形式；洁净等级在5级以上(包括5级)时，采用集中送风加风机过滤机组的形式。
10.3.6 本条是强制性条文，对洁净室压差控制作出规定。为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时，气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰，所以洁净室与周围环境应保持一定的压差。
10.3.7 本条是保证洁净室压差控制的措施。
10.3.8 本条对洁净室噪声级提出要求。“空态”是指洁净室设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员的阶段。
10.3.9 本条是强制性条文。还原车间生产使用氢气，火灾危险性分类为甲类，现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB 50019相关条文强制规定，甲、乙类生产厂房不应使用循环空气，
以保障人身安全。
10.3.10 腐蚀清洗室、配件清洗室、硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上、8级、7级，工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘，局部排风不能完全排除酸气及粉尘，这样净化空调系统就不应回风。
10.3.11 本条是洁净厂房设置多套净化空调系统，新风集中处理的时候对新房机组功能的要求。主要是为了安全和节能。
10.3.12 空气过滤器分类、性能指标参照了现行国家标准《空气过滤器》GB/T 14295和《高效空气过滤器》GB/T 13554的规定。在多晶硅厂房设计中，一般常用的过滤器有粗效过滤器、中效过滤器、亚高效过滤器、高效过滤器。
过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下，其效率和阻力最合理时的风量。如果大于额定风量，过滤器阻力增大，导致系统阻力增加。对于高效过滤器，风速过大有可能吹破滤纸。
中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段，主要是考虑到机组的负压段向内漏风，影响过滤效果。
一般有洁净等级的洁净室，高效过滤器宜设在空调系统末端；对于三级过滤净化空调，高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上。
10.3.14 在净化空调系统中，空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大，空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加，使系统的风量减少，因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算。系统初运行时，过滤器初阻力较小，系统阻力低，风机采用变频装置可以调节风量，达到节能目的。
